Telecamera CCD con navigatore
Una telecamera CCD collegata al SEM consente di catturare un’immagine dello stage portacampioni contemporaneamente con il campione in esame, l’immagine caricata automaticamente nel software SEM permette una agevole navigazione, per spostarsi sulle ROI di interesse del campione è sufficiente un click e lo stage si sposterà automaticamente.
CARATTERISTICHE ESCLUSIVE IN UN SEM TABLE TOP!Telecamera CCD con navigatore per stage
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Fino a 5120 * 3560 pixel di immagine
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Risoluzione del fascio 5nm (SE)
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Alto ingrandimento: X 150 K.
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4 aperture variabili e dimensione del punto variabile continua
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Modalità High Vac e Low Vac
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Rivelatore SE e BSEDoppia modalità
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Da 1 a 30 kV (6 passi 5kV)
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Regolazioni automatiche
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Navigatore di scena a 5 assi