MITAKA CASI STUDIO: Scansioni Laser e Misure di profili e rugosità di oggetti trasparenti

APPARECCHIATURA UTILIZZATA : Profilometro Mitaka PF-60

SCANSIONE AUTOMATICA DI UNA ROI
Immagine del campione con area di interesse scansionata
Ingrandimento dell’area acquisita
Parametri strumentali
Obiettivo 100x
Risoluzione Verticale 1nm
Risoluzione laterale 0.1 µm
Misura del campione
Passo (direzione x/y) 1 µm
Lunghezza misurata (direzione x) 5.5 mm
Lunghezza misurata (direzione y) 2.5 mm
Velocità 200 µm/s

Nell’immagine sottostante è possibile apprezzare la ricostruzione 3D della superficie misurata con i parametri precedentemente indicati. La scala a fianco permette di apprezzare gli scostamenti di altezza a pseudocolori.

Misure di rugosità su ua ROI e misure del profilo su sezioni di interesse  

Viene richiesta l’acquisizione della superficie attorno alla “i” per apprezzarne la ricostruzione 3D e la scala a pseudocolori, da tale ricostruzione e’ possibile estrapolare vari profili e misurarli. Il campione presenta difficolta’ di acquisizione relative alla sua trasparenza e alla microstruttura particolare sopra depositata; tuttavia le caratteristiche laser del Pf-60 lo rendono adatto a effettuare le misure desiderate.

MISURE DI RUGOSITA’ DI UN’AREA (SA)

La figura seguente mostra l’estrazione di un’ area di interesse al fine di eseguire una misura di Areal Roughness. Di seguito sono illustrati i parametri secondo normativa ISO 25178.

ROI PER MISURA DI RUGOSITA’
VALORI MISURATI SULLA ROI

MISURE DI RUGOSITA’ E PROFILOMETRIA

In figura e’ stato segnato il profilo da cui sono stati misurate le distanze e le rugosita’

ESTRAZIONE DI UN PROFILO
IL PROFILO ESTRATTO

Le figure di cui sopra mostrano la visualizzazione delle misure estratte e i parametri di rugosita’. Nota: e’ stato utilizzato un cut off diverso da normativa perche’ la misura richiesta presenta un’ elevata rugosita’ su di una lunghezza contenuta.

MISURE DI DISTANZE ESEGUITE SUL PROFILO ESTRATTO
MISURE DI RUGOSITA’ SUL PROFILO ESTRATTO
SEZIONE SU UNA ROI DIVERSA PER MISURE COMPARATIVE
PROFILO ESTRATTO
MISURE DI DISTANZE SUL PROFILO ESTRATTO
MISURE DI RUGOSITA’ SUL PROFILO ESTRATTO